制备电子工业超纯水的工艺流程、电子工业制备超纯水的工艺大致分成以下3种：
1、采用离子交换树脂制备电子工业超纯水的传统水处理方式，其基本工艺流程为：原水***多介质过滤器***活性炭过滤器***精密过滤器***中间水箱***阳床***阴床***混床（复床）***超纯水箱***超纯水泵***后置保安过滤器***用水点；
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edi的工作原理
edi模块(膜堆)是edi工作的核i心。一个简单的edi膜堆主要由两个电性相反的电极和多个模块单元对组成，一个膜单元对由一个填满阳离子和阴离子交换树脂的淡水室(d-室)、一个阳膜、一个阴膜、一个浓水室(c-室)组成。edi膜堆包含多个膜单元对。在每个膜堆的内部有两个带有600v电压的电极，供应超纯水设备，这是通过每个膜堆必需的电压。正极带正电压，负极带负电压，电流在正极和负极之间通过30个膜单元。任一个淡水室都包含着阳树脂和阴树脂，它相当于一个8千米厚的混床。一个阳膜朝着阴极的方向把淡水室和浓水室分开，在另外一边，阴膜也把淡水市和浓水室分开
超纯水设备工艺种类
离子交换方式其流程如下：原水***原水加压泵***多介质过滤器***活性炭过滤器***软水器***精密过滤器***阳树脂过滤床***阴树脂过滤床***阴阳树脂混床***微孔过滤器***用水点间歇式离子交换这种操作方式是将离子交换树脂和待处理的原水混合加以适当搅拌，基本达到交换平衡，超纯水设备大型，使平衡后的水质萍踪设计需求。此方式通常用于小型生产或实验需要。固定床离子交换是一种常用的离子交换方式，是将离子交换树脂置于交换柱内，---的原水以一定流速流经树脂床层，达到交换目的。此方式设备简单，操作方便，实用于各种规模的生产，但是其树脂的利用率较低，再生费用较高。
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